上海发布新计划，国产设备发展新机遇
文章导读：上海经信委研究制定了《上海市智能制造行动计划（2019-2021年）》，这将给国产光刻机、刻蚀机尤其是国产光刻机带来巨大的机会。
按照“计划”的说法：在集成电路领域，重点以芯片制造、大硅片制备和封装测试为主攻方向，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。在信息通信领域，大力推动通讯终端产品数字化设计、工艺设计与仿真，开发产品数据管理系统，建立产品数字化研发平台；提高智能测试装备、基于机器视觉识别的质量在线检测系统、智能仓储物流装备等普及率；建立基于5G的工业互联网平台，实现现场数据采集与制造执行系统、企业资源计划系统的数据集成共享，提高生产效率和降低生产成本。
这次“计划”的推出，对于本土光刻机和刻蚀机来说是一个好事，但同样面临巨大的挑战。当前，我国本土设备与国外设备差距较大，80%-90%工艺设备需要进口。很多生产线不愿意采购国产设备，不愿意给国产设备试用的机会，因为他们要考虑经济效益，选择国外成熟设备是最安全的方式，而选择国产设备有很多的风险。国产设备因为没有试用的机会，没有发现问题、改进问题的机会，所以很难快速进步。因此，本次制定的新制造计划，对本土光刻机与刻蚀机是发展的机遇，却仍面临着许多挑战。
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