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        用于半导体封装的豆奶视频APP官网设备主要由哪些部分组成?

        返回列表 来源:豆奶视频在线观看 浏览: 发布日期:2018-10-29 16:44【
        文章导读:豆奶视频APP官网设备有多种叫法,例如豆奶视频APP官网机、豆奶视频免费观看在线设备、低温等离子处理设备、豆奶视频免费观看在线系统、电浆机、Plasma cleaner等,半导体封装用到的豆奶视频APP官网设备是什么样的呢?

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        1、真空腔体:带有各种结构的放电电极,使得反应气体激发生成等离子体,形成不同状态、不同特性和密度的等离子体
         

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        2、等离子发生器:含电源和匹配器,提供反应气体放电能量来源,维持等离子体放电状态;有不同的频率区分。
         

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        3、真空泵:抽取真空,保持真空度,抽走未电离的工艺气体和反应副产物;包括单级泵和泵组。
         

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        4、真空计:监测真空腔体的真空度。


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        5、流量计:测量反应气体的流量。

         

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        6、反应气体:各种工艺气体,如Ar、H2、N2、O2、CF4等,根据需要使用单一气体或者两种以上的混合气体。

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        7、电气控制:含软件,保证设备运行、监测、数据采集和工艺参数设定等。


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          ‌广泛适用‌:适用于多种材料表面,包括金属、陶瓷、玻璃、塑料等,不会对材料性能产生负面影响。

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